Aká je rovnomernosť nanášania tenkého filmu?
Rovnomernosť tenkého filmu sa vzťahuje na konzistenciu distribúcie hrúbky tenkého filmu na celom plátku. Dobrá rovnomernosť znamená, že hrúbka tenkého filmu je veľmi blízka v každej polohe na plátku.
Aké sú typy rovnomernosti tenkého filmu?
Vo všeobecnosti sa berú do úvahy tieto typy:
● Rovnomernosť v rámci plátku: Rovnomernosť v rámci jedného plátku.
● Rovnomernosť medzi plátkami: Rovnomernosť medzi rôznymi doštičkami.
● Rovnomernosť medzi jednotlivými šaržami: Rovnomernosť medzi rôznymi šaržami oblátok.
Ako sa vypočíta jednotnosť?
Ak vezmeme ako príklad jednotnosť v plátku, jej štandardná odchýlka sa vypočíta pomocou vzorca:
Tento vzorec vypočíta druhú odmocninu priemeru druhých mocnín rozdielov medzi každým údajovým bodom a priemerom údajov.
σ (štandardná odchýlka): Predstavuje stupeň rozptylu údajov; čím väčšia je štandardná odchýlka, tým väčšia je disperzia.
N: Celkový počet nameraných údajových bodov.
ti: Hodnota hrúbky i-tého dátového bodu.
Priemerná: Priemerná hodnota všetkých údajových bodov.
(ti-Mean)^2: Štvorcový rozdiel medzi každým údajovým bodom a priemerom.
∑: Zhrnutie.
Vzorec je trochu ťažko pochopiteľný, takže tu je príklad:
Predpokladajme, že máme súbor údajových bodov hrúbky tenkého filmu: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Najprv vypočítajte priemer týchto 10 bodov: Priemer=54,98.
●Potom vypočítajte druhú mocninu rozdielu medzi každou hrúbkou a priemerom: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Spočítajte tieto druhé mocniny rozdielov a nájdite priemer: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Nakoniec vypočítajte smerodajnú odchýlku: σ=0.193.