Spôsob prípravy amorfného kremíkového solárneho článku

Existuje mnoho metód pre amorfné kremíkové solárne články, vrátane plazmou podporovaného chemického nanášania pár, reaktívneho rozprašovania, žeravého výboja, odparovania elektrónovým lúčom a tepelného rozkladu silánu.
1. Metóda reaktívneho naprašovania: Najprv použite infračervený laser na laserové narysovanie TCO vodivého skleneného substrátu; po laserovom pisári vykonajte ultrazvukové čistenie; po očistení substrátu ho vložte do špeciálneho upínacieho prípravku a vtlačte ho do rúry na predhriatie; predhrievanie Upevňovacie zariadenie po nanášaní sa zatlačí do depozičnej vákuovej komory PECVD a amorfný kremík sa nanáša pomocou procesu nanášania PECVD; potom sa zelený laser použije na uskutočnenie druhého laserového ryhovania na nanesenom substráte z amorfného kremíka a po ryhovaní sa vykoná čistenie; potom sa vyčistený substrát pokryje kompozitným filmom kovovej zadnej elektródy pomocou technológie PVD a vrstva oxidu zinočnatého ako jeden z kompozitných filmov kovovej zadnej elektródy sa nanesie na povrch vrstvy amorfného kremíka a nanesú sa ďalšie vrstvy kovovej zadnej elektródy na vrstve oxidu zinočnatého; potom pomocou zeleného lasera vykonajte tretie laserové ryhovanie na substráte s nanesenou kovovou zadnou elektródou a po ryhovaní ho očistite. Doteraz bola vytvorená štruktúra čipu batérie; potom sa čip batérie zalaminuje a zabalí a nainštaluje sa spojovacia skrinka a olovené vodiče. Nakoniec vykonajte testovanie výkonu komponentov a zabaľte kvalifikované produkty do škatúľ. V závislosti od veľkosti a špecifikácií vyrábaných fotovoltaických modulov trvá výrobný cyklus vo všeobecnosti tri až štyri hodiny.
2. Metóda chemickej depozície z plynnej fázy zosilnená plazmou: séria depozičných komôr sa používa na vytvorenie kontinuálneho programu vo výrobe na dosiahnutie hromadnej výroby. Amorfný kremíkový solárny článok je zároveň veľmi tenký a môže byť vyrobený ako skladaný typ alebo vyrobený metódou integrovaného obvodu. Na rovine, s vhodným maskovacím procesom, je možné vyrobiť viacero článkov v sérii naraz, aby sa získalo vyššie napätie.
3. Metóda žeravého výboja: kremenná nádoba sa evakuuje, naplní sa silánom zriedeným vodíkom alebo argónom, zahreje sa vysokofrekvenčným zdrojom energie, aby sa ionizoval silán za vzniku plazmy, a amorfný kremíkový film sa nanesie na vyhrievaný substrát superior.